本文所介绍的最新氮化法是在约300 mb工作压力下，加入（氮化气体）、（笑气、当触媒）、（稀释剂）

进行氮化，亦可再加入（供给碳）进行软氮化。低压氮化法速度快、氮化层组织可选择为纯扩散层或为致

密白层，可氮化深孔狭缝，工作表面洁净，量产性佳，省气体能源，作业环境优良，应用广泛，对滚轮、

耐磨耗零件、铝挤型模、塑料模具及锻造模具等都有很好的处理效果。
一、前言
　　低压氮化亦称为真空氮化，系一种在真空炉内或减压状态下（约300 mb左右）进行的气体氮化或气体

软氮化处理，可使工件表面得到较高硬度之氮化层，增加工件表面压缩压力，以提高其耐磨耗性及耐疲劳

性。处理温度与一般气体氮化温度相近，即约在400～600℃左右。
二、原理
　　根据Henri Michel的研究：氮在不同组织中有不同的扩散速度，其中
为氮在ε相中的扩散速度
为氮在相中的扩散速度
为氮在α相中的扩散速度
　　所以
　　　　
　　亦即为提高氮化速度，必需在氮化过程中延缓化合物层（以相及ε相为主）的形成，而尽量维持在α

相，直到扩散深度足够后再视需要产生化合物层。
　　低压氮化技术是法国HIT热处理集团中所属的研究发中心INNOVATIQUE最近开发出来的新技术，他们称

之为NITRAL制程。使用的气体称之为ALNAT，包括：
1.：氮化气体。
2.：笑气，做为触媒、催化剂。
3.：稀释剂（也可用含5～7％之混合气），降低氮势。
4.：甲烷，供给碳以便进行软氮化（CARBONITRAL）。
　　化学反应如下：
　　　　　　　　　 (1)
　　Nα是在氨裂解出来的初生态氮，亦为扩散进入工件表面的主角。
　　上反应式(1)在常压时呈平衡状态，在低压时则往右反应，有较高的氮势，所以氮化速度快。
　　 (2)
　　可使工件表面氧化如式(2)，并促进裂解，如式(3)
　　 (3)
　　此后，即可自行裂解出初生态氮Nα，进行氮化作用，扩散进入工件表面。
三、制程
　　在进行低压氮化之前，工件应先做好前处理。
清洗工件：工件表面不要有油污或氧化物。
工件安置：尽量均匀分布以使气体容易流通，效果较佳，但随意成堆安置亦可处理。
防氮处理：可使用防氮漆（CONDURSAL N523）涂在不欲氮化之表面。
　　典型的低压氮化制程如下：
抽真空（VACUUM）
　抽至 mbar
　历时约10～15分钟
对流加热（CONVECTION HEATING）
　加100％或混合气（5～7％）
　压力800mbar
　氮气是很好的热传介质，此阶段可使工件温度均匀。
排气（PURGE）